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Le projet vise à réaliser des microsystèmes optiques pour l’analyse spectroscopique dans le proche infrarouge [entre 1 et 2.5 µm] dans le système de matériaux InP / InGaAs. Il réunit des compétences en conception de système MOEMS, épitaxie, microfabrication et validation des applications et associe deux laboratoires publics, le LEOM à l’Ecole Centrale de Lyon (coordonnateur) et le CEMAGREF, et deux industriels, ALCATEL-THALES III-V LAB et la PME DATALINK Il s’agit d’associer, dans un microspectromètre intégré, une photodiode résonnante à puits quantiques d’InGaAs contraints avec une fonction “ accordabilité en longueur d’onde ”. On cherchera aussi à intégrer ce composant en matrices linéaires afin de constituer des imageurs hyperspectraux. On utilisera les matériaux de la filière InP / InGaAs épitaxiés par MOCVD et les techniques de micro-usinage développées au LEOM pour réaliser des micro-cavités Fabry-Pérot accordables électriquement basées sur une alternance de couches d’air et d’InP. Ce microsystème, grâce à son faible encombrement et son coût réduit, ouvrira la voie à des applications industrielles extrêmement porteuses comme : - les analyses biologiques non invasives (monitoring du diabète en particulier); - les analyses industrielles en ligne (agro-alimentaire, pétrochimie, chimie,…); - l'imagerie hyperspectrale (utilisable en agriculture, dans l'environnement,... etc) Des prototypes de systèmes d’analyse spectroscopique exploitant ces microsystèmes seront conçus et réalisés pour des applications environnementales concernant des produits agroalimentaires.
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